Принцип действия
Принцип действия
Системы
TopMap
основаны
на
принципе
интерферометра
белого
света
.
На одной ветви интерферометра надежно позиционируется исследуемый образец, на другой – располагается опорное зеркало.
Установка интерферометра перемещается относительно образца с постоянной скоростью. На рисунке приведено схематическое изображение модуля интерферометра
TopMap
. Камера захватывает изображение образца, передаваемое на опорное зеркало. Интерференция наблюдается если разность оптических путей между опорным зеркалом и соответствующей точкой образца равна нулю.
В процессе этих измерений программное обеспечение определяет интерференцию в каждом пикселе в зависимости от топографии исследуемого образца. После прохождения предопределенного расстояния становится доступной в цифровом виде топографическая структура образца. Результаты могут быть проанализированы в программном обеспечении
TopMap
, обладающем многочисленными возможностями. Функция экспорта и автоматизированный интерфейс позволяют воспользоваться другими приложениями для обработки данных топографии.
 |
