Микроанализаторы MEMS
Микроанализаторы
В связи с бурным развитием различных типов микро-электромеханических систем (
MEMS
), компания
Polytec
представляет новую линию микроанализаторов для исследования динамики и топографии
MEMS
.
Анализатор микросистем
MSA
-400 – первая измерительная технология для анализа и визуализации колебаний конструкций и топографии поверхности микроструктур.
Используя стандартную оптику микроскопа, системы
Polytec
для измерения вибрации в плоскости и вне плоскости могут быть легко интегрированы в существующие системы.
Для исследований печатных плат все системы могут быть установлены на ручные или полностью автоматизированные зондовые установки.
Анализатор микросистем
MSA-500
|
Анализатор микросистем
MSA
-500 – новая мощная единая измерительная станция для высокоточного определения трехмерных динамических характеристик
MEMS
и
MOEMS
-структур.
-
Определение характеристик колебаний вне плоскости сканирующей лазерной доплеровской виброметрией
-
Измерение плоских перемещений и колебаний стробоскопической видеомикроскопией.
-
Определение
топографии
поверхности
интерферометрией
белого
света
-
Испытание плат и отдельных кристаллов при объединении
MSA
-500 с зондовой станцией для
MEMS
.
|
|
Сканирующий виброметр с микроскопом MSV-400
|
MSV
-400 обеспечивает возможность исследования пространственных колебаний любых микроструктур.
-
Широкая полоса пропускания (20 МГц) и малый размер пятна лазера
Режим
Fast
-
Scan
позволяет регистрацию данных со скоростью
100
измерений
в
секунду
с
пикометровым
разрешением
-
Для испытаний в воде может быть интегрирован с зондовой станцией
MEMS
probe
|
 |
Адаптер микроскопа MSV-050/100
|
Мост, который соединяет лазерную доплеровскую виброметрию с микромиром
MEMS
, разработанный для подключения волоконно-оптической головки виброметра к микроскопу
-
Высокоточные одноточечные и дифференциальные измерения вибрации микроструктур
-
Дополнительно – видеоуправление лазерным лучом с высоким пространственным разрешением
-
Модульная конструкция легко модифицируется в сканирующий виброметр с микроскопом
MSV
-400
|
|
Программное обеспечение PSV
|
Программный пакет
Polytec
предназначен для регистрации и обработки пространственных измерений вибрации с использованием систем
PSV
-400,
MSV
-400 и
MSA
-400.
PSV
– это мощный инструмент, который:
-
Управляет сканерами
-
Выполняет обработку данных
-
Выполняет понятную анимированную визуализацию данных
-
Предоставляет интерфейсы к пакетам модального, конечно-элементного анализа и другим программам
|
|
Программное обеспечение PMA Software
|
Специализированное программное обеспечение для анализа данных измерения в плоскости стробоскопической видеомикроскопии при использовании анализатора микросистем
MSA
-400 или анализатора плоских перемещений
PMA
-400. Возможности
PMA
Software
:
-
Программное обеспечение для управления и анализа
-
Суб-пиксельная обработка изображений
-
Замедленное видеоизображение в реальном времени
-
Графики
Боде
-
Мощные
анализаторы
и
фильтры
экспорта
|
|
TMS Software
|
Простое в применении программное обеспечение сбора и анализа данных для топографических измерительных систем
Polytec
, а также для
MSA
-400 с опцией
Topography
. Программа содержит все необходимые команды для управления оборудованием, сбора данных, их анализа и отображения. Выдающиеся возможности 2-
D
и 3-
D
-представления данных дополняют алгоритмы вырезки профиля и фильтрации. |
 |
|
