Модули системы и дополнительное оборудование
|
Оптический модуль MSA-O-500 |
|
MSA-O-500-P
MSA-O-500-TP
1 |
Измерительная
головка
с
микроскопом
с
видеостробоскопической
системой
для
анализа
перемещений
в
плоскости
|
|
MSA-O-500-S |
Измерительная головка с микроскопом с одной парой сканирующих зеркал для измерений сканирующим виброметром и видеостробоскопической системой для анализа перемещений в плоскости |
|
MSA-O-500-TS
1) |
Волоконно оптический интерферометр
OFV
-551 (см. соответствующие технические данные) |
|
MSA-O-500-D |
Измерительная головка с микроскопом с видеостробоскопической системой для анализа перемещений в плоскости и двумя парами сканирующих зеркал: одна для измерений сканирующим виброметром, вторая для стационарного опорного луча. Опорный луч позиционируется с использованием элементов управления на передней панели. |
|
MSA-O-500-TD
1 |
Двойной волоконно-оптический интерферометр
OFV
-552 с опорным зеркалом (см. соответствующие технические данные) |
Все версии имею башенное исполнение и оснащены длиннофокусными линзами с 10-кратным увеличением
1)
Для топографических измерений оснащаются дополнительной ступенью позиционирования пьезообъектива и опорным объективом
|
Оптика |
|
Камера |
Камера с прогрессивной разверткой, 1.4 Мпикс (1392
x
1040),
IEEE
1394
FireWire
интерфейс |
|
Подсветка |
Светодиод,
525
nm
, длина когерентности 12 мкм |
|
Класс лазерной безопасности
1) |
Class
2 (видимое излучение < 1 мВт) |
|
Диаметр луча
1) (
FWHM
) |
~0,9 мкм (с 50
X
линзой микроскопа) |
|
Сканнер
1) |
Управляемый двойной пьезо-сканер, разрешение: 512
x
512 точек в поле обзора |
|
Пьезо
2) |
Поступательный стол пьезообъектива. Перемщение: макс. 250 мкм |
|
Объективы для виброизмерений
3) |
|
|
Увеличение |
Рабочее расстояние (мм) |
Поле обзора (мкм
x
мкм) |
Оптическое разрешение (мкм) |
|
A-MOB-010X |
10X |
30
,
5 |
900 x 670 |
1.6 |
|
Дополнительные объективы |
|
A-MOB-002X |
2X |
34 |
4500 x 3350 |
8,5 |
|
A-MOB-005X |
5X |
37.5 |
1800 x 1340 |
3,6 |
|
A-MOB-020X |
20X |
20 |
450 x 335 |
1,2 |
|
A-MOB-050X |
50X |
17 |
180 x 134 |
0,85 |
|
A-MOB-03x6 |
3,6x |
53 |
2500 x 1861 |
1,792 |
1)
Только
системы
со
сканирующим
виброметром
2)
Только системы для топографических измерений
3)
Только системы, содержащие сканирующий виброметр и/или измерение плоских перемещений.
|
